Вакуумная микроэлектроника
Трубецков Д.И.
Каковы истоки и особенности нового научного направления в физической электронике? Почему автоэлектронная эмиссия столь важна в ВМЭ? Как сделать приборы и компоненты, имеющие микронные геометрические размеры (с нанометрическими допусками на эти размеры)? Зачем нужна ВМЭ? Ответы на поставленные вопросы и дает данная статья
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
