|
Booksee.org
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов. Представлены оглавление, предисловие и первый раздел книги
Скачать книгу бесплатно (pdf, 118 Kb) | Читать «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1»
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
Популярные книги за неделю:
#3
Самодельные детали для сельского радиоприемникаАвторы: З.Б.Гинзбург, Ф.И.Тарасов.Категория: радиоэлектроника
1.40 Mb
#10
Вероятность и статистика. 10-11 классыБродский И.Л., Мешавкина О.С.Категория: M_Mathematics, MSch_School-level
1.24 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
#2
Гарри Поттер и Орден Феникса (народный перевод)Роулинг ДжоанКатегория: Детская литература
1.46 Mb
#9
Эктопии и эрозии шейки маткиПрилепская В.Н., Рудакова Е.Б., Кононов А.В.Категория: КНИГИ ЗДОРОВЬЕ
2.41 Mb
|
|